Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Цена актуальна на 20.05.2026 — может отличаться от цены в магазине
Продаёт магазин
Читай-Город
Описание
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Отзывы покупателей
Отзывов пока нет. Покупали этот товар? Расскажите о своём опыте — это поможет другим.