Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Цена актуальна на 20.05.2026 — может отличаться от цены в магазине
Продаёт магазин
Читай-Город
Описание
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. .Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
Отзывы покупателей
Отзывов пока нет. Покупали этот товар? Расскажите о своём опыте — это поможет другим.